Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.37/Г 90 яяя (другие формы) Автор(ы) : Груздов В. В., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А., Заглавие : Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : методические указания по выполнению лабораторных работ для магистров, с направлением подготовки по специальности 11.04.04 и аспирантов с направлением подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06/ В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой Выходные данные : Москва: Техносфера, 2017 Колич.характеристики :96 с. ISBN, Цена 978-5-94836-471-1: Б.ц. УДК : 621.37 ББК : 32 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): эбс лань Аннотация: Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия. Доп.точки доступа: Колковский, Ю. В. Концевой, Ю. А.