Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6Ф2.1-08/Ф 81 Заглавие : Фотолитография и оптика : научное издание Параллельн. заглавия :Fotolitografie und Optik Выходные данные : Москва: Советское радио; Берлин: Техника, 1974 Колич.характеристики :392 с.: ил. Цена : 1.57, 1.57, р. ГРНТИ : 29.31 УДК : 621.385.1.002 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковая электроника--планарная технология--основные законы оптики--фотошаблоны--координатографы--фотоповторители--фотоповторители Экземпляры : всего : аб(2), кнхр(1) Свободны : аб(2), кнхр(1) Доп.точки доступа: Федотов, Я. А. \ред.\ Поль, Г. \ред.\