Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/Т 38 Автор(ы) : Базарова Т. Е., Мартынов В. В. Заглавие : Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [В 10 кн.]. Кн. 8. Литографические процессы : Учеб. пособие для ПТУ Выходные данные : М.: Высшая школа, 1990 Колич.характеристики :126 c. ISBN, Цена 5-06-001080-5: 0.20 р. УДК : 621.382-027.22(075) + 621.382.049.77-027.22(075) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): литографические процессы (электроника) Экземпляры :кнхр(1) Свободны : кнхр(1) Доп.точки доступа: Базарова, Т. Е. Мартынов, В. В.