Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 53/М 80 Автор(ы) : Мороз, Андрей Викторович, Вашурин, Никита Сергеевич Заглавие : Основы лучевых и плазменных технологий : лабораторный практикум : [для студентов радиотехнического факультета] Выходные данные : Йошкар-Ола: ПГТУ, 2017 Колич.характеристики :118 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 117-118 (15 назв.) ISBN, Цена 978-5-8158-1877-4: 94.96, 94.96, 95.07, р. ГРНТИ : 47.01.33 УДК : 621.38:53(076.5) + 537.5(076.5) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лучевые технологии--плазменные технологии--лабораторные практикумы--масс-спектрометрия--магнетронные распылительные системы--вольт-амперные характеристики--спектрометрия Экземпляры : всего : абунл(19), чз№2(3) Свободны : абунл(19), чз№2(2) Доп.точки доступа: Вашурин, Никита Сергеевич