Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 621.382/В 24 Автор(ы) : Чистяков, Юрий Дмитриевич, Райнова, Юлия Петровна Заглавие : Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: в 2 т. : [учеб. пособие]/ под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники Выходные данные : М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 Колич.характеристики :392 с.: ил. ISBN, Цена 978-5-9963-0335-9: 464.20, 464.20, р. ГРНТИ : 47.13 УДК : 621.382.049.77(075.8) + 620.3(075.8) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--нанотехнология--интегральные микросхемы--наноэлектроника--радиотехника--радиоэлектроника--радиоэлектронная аппаратура Экземпляры : всего 46: абунл(43), чз№2(5), кнхр(1) Свободны : абунл(43), чз№2(2), кнхр(1) Доп.точки доступа: Чистяков, Юрий Дмитриевич Коркишко, Ю. Н. \ред.\ Райнова, Юлия Петровна