Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Н 25 Заглавие : Нано- и микросистемная техника : от исследований к разработкам : сб. ст. Выходные данные : М.: Техносфера, 2005 Колич.характеристики :589 c.: ил. Серия: Мир электроники ISBN, Цена 5-94836-063-6: 539.00 р. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049.77 + 620.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотехнология--микросистемная техника Экземпляры :чз№1(1) Свободны : чз№1(1) Доп.точки доступа: Мальцев, П. П. \ред.\