Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/Б 90 Автор(ы) : Бубенников, Александр Николаевич Заглавие : Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем : Учеб.пособие для студ.вузов по спец."Физика и технология материалов и компонентов электронной техники" Выходные данные : М.: Высшая школа, 1989 Колич.характеристики :319 c. Цена : 1.00 р. УДК : 621.382.049.77(07) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гриф государственного комитета Экземпляры : всего 50: чз№2(2), кнхр(1), абунл(49) Свободны : чз№2(2), кнхр(1), абунл(49)