Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/С 91 Автор(ы) : Сушенцов, Николай Иванович, Филимонов В. Е. Заглавие : Основы технологии микроэлектроники : лаб. практикум для студентов специальностей 200800, 201500, 200700, 201100, 210100, 220500 Выходные данные : Йошкар-Ола: МарГТУ, 2003 Колич.характеристики :132 c.: ил. Цена : 16.75 р. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049.77-027.22(07) Предметные рубрики: МарГТУ-- Издания Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника (технология)--лабораторные практикумы Экземпляры : всего 163: абунл(5), аб(164) Свободны : абунл(5), аб(164) Доп.точки доступа: Филимонов, В. Е.