Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/С 59 Автор(ы) : Соколов, Игорь Александрович Заглавие : Расчеты процессов полупроводниковой технологии : Учеб.пособие для студ-ов,обуч.по спец."Физика и технология материалов и компонентов электронной техники" Выходные данные : М.: Металлургия, 1994 Колич.характеристики :176 c. ISBN, Цена 5-229-01063-0: 1900.00 р. ГРНТИ : 53.41 УДК : 621.382-027.22(075) Экземпляры :кнхр(1) Свободны : кнхр(1)