Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 53/Р 76 Заглавие : Труды ФТИАН. Т. 3. Моделирование технологических процессов микроэлектроники Выходные данные : М.: Наука, 1992 Колич.характеристики :117 c.: ил. Коллективы : Российская академия наук. Физико-технологический ин-т Примечания : Основаны в 1991 г. ISSN: 0868-7129 Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 53(061.2) + 621.382.049.77-027.22 Экземпляры :кнхр(1) Свободны : кнхр(1)