Г 90 Груздов, В. В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) [Электронный ресурс] : методические указания по выполнению лабораторных работ для магистров, с направлением подготовки по специальности 11.04.04 и аспирантов с направлением подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06 / В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой. - Москва : Техносфера, 2017. - 96 с. - ISBN 978-5-94836-471-1 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): эбс лань Аннотация: Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия. Перейти к внешнему ресурсу ЭБС Лань. Доступ до 31.08.2024 Доп.точки доступа: Колковский, Ю. В. Концевой, Ю. А. |