6Ф2.1-08
   Б 95


    Быстров, Ю. А.
    Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 165 с. - 0.65 р.
ГРНТИ

Рубрики: Радиоэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
измерительные приборы -- цифровые устройства -- микроэлектронное производство -- технологический контроль
Доп.точки доступа:
Колгин, Е. А.
Котлецов, Б. Н.

Экземпляры всего: 2
аб (1), кнхр (1)
Свободны: аб (1), кнхр (1)