Б 95 Быстров, Ю. А. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 165 с. - 0.65 р.
Рубрики: Радиоэлектроника Кл.слова (ненормированные): измерительные приборы -- цифровые устройства -- микроэлектронное производство -- технологический контроль Доп.точки доступа: Колгин, Е. А. Котлецов, Б. Н. Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |