6Ф2.1-08
   Т 58


    Топфер, М.
    Микроэлектроника толстых пленок. Технология, конструирование, применение [Текст] : научное издание ; перевод с английского / М. Топфер ; под ред. Т. Д. Шермергора. - Москва : Мир, 1973. - 256 с. : ил. ; 22см. - 1.08 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 34.7

Рубрики: Электроника--Радиоэлектронная промышленность

Кл.слова (ненормированные):
автоматы -- полуавтоматы -- миниатюрные агрегатные станки -- станки с программным управлением -- сверлильные станки с ЧПУ -- токарные станки -- обрабатывающие центры -- режущий инструмент -- погрешности -- толстые пленки -- радиоэлектронная промышленность -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Шермергор, Т. Д. \ред.\

Экземпляры всего: 3
аб (2), кнхр (1)
Свободны: аб (2), кнхр (1)