6Ф2.1-08
   К 93


    Курносов, А. И.
    Полупроводниковая микроэлектроника [Текст] : научное издание / А. И. Курносов, Э. Н. Воронков. - М. : Воениздат, 1973. - 240 с. : ил., граф., табл., черт. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 0.88 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ -- ФОТОВОЛЬТАИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
Аннотация: В книге рассмотрены методы изготовления интегральных схем. Описаны планарная, эпитаксиальная и электроннолучевая технологии изготовления интегральных схем. Дан анализ новых физических явлений.
Доп.точки доступа:
Воронков, Э. Н.

Экземпляры всего: 2
аб (1), кнхр (1)
Свободны: аб (1), кнхр (1)