М 48 Мельниченко, А. Т. Основы технологии тонких и толстых пленок [Текст] : [учебное пособие для студентов по специальности "Конструирование и производство радиоэлектронных средств"]. Ч. 2. 2303 / А. Т. Мельниченко ; М-во связи СССР, Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича. - Ленинград : ЛЭИС, 1990. - 69, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 69 (9 назв.). - 0.75 р.
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |