В 24 Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : в 2 т. : [учеб. пособие] / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 464.20 р.
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- нанотехнология -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- наноэлектроника -- радиотехника -- РАДИОэлектроника -- радиоэлектронная аппаратура Доп.точки доступа: Чистяков, Юрий Дмитриевич Коркишко, Ю. Н. \ред.\ Райнова, Юлия Петровна Экземпляры всего: 49 абунл (43), чз№2 (5), кнхр (1) Свободны: абунл (43), чз№2 (2), кнхр (1) |