621.382
   С 91


    Сушенцов, Николай Иванович.
    Основы технологии микроэлектроники [Текст] : лаб. практикум для студентов специальностей 200800, 201500, 200700, 201100, 210100, 220500 / Н. И. Сушенцов, В. Е. Филимонов. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2003. - 132 c. : ил. - 16.75 р.
УДК

Рубрики: МарГТУ--Издания

Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника (технология) -- Лабораторные практикумы
Доп.точки доступа:
Филимонов, В. Е.

Экземпляры всего: 169
абунл (5), аб (164)
Свободны: абунл (5), аб (164)