П 27 Перевощиков, Виктор Александрович. Физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников [Текст] : Учеб. пособие / Нижегор.гос.ун-т им.Н.И.Лобачевского. - Нижний Новгород : Изд-во Нижегор. гос. ун-та, 1997. - 253 c. : ил. - ISBN 5-230-03812-8 : 10.00 р.
Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковые материалы (технология) -- Физико-химические основы -- Поверхности полупроводников (обработка) -- Учебные пособия Доп.точки доступа: Скупов, В. Д. Экземпляры всего: 2 чз№2 (1), кнхр (1) Свободны: чз№2 (1), кнхр (1) |