Р 76 Российская академия наук. Физико-технологический ин-т. Труды ФТИАН [Текст] / Гл. ред. К. А. Валиев. - М. : Наука, 1996 - . Т. 10 : Проблемы субмикронной технологии / Отв. ред. А. А. Орликовский. - 106 c. - ISBN 5-02-015209-9 : 8500.00 р.
Кл.слова (ненормированные): Субмикронная технология в микроэлектронике Экземпляры всего: 1 кнхр (1) Свободны: кнхр (1) |