Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/Ш 32 Автор(ы) : Шашин, Дмитрий Евгеньевич Заглавие : Вакуумные тонкопленочные технологии в приборостроении : лабораторный практикум по направлениям подготовки 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 12.03.01 "Приборостроение", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 12.03.04 "Биотехнические системы и технологии", 11.04.01 "Радиотехника", 27.03.04 "Управление в технических системах" Выходные данные : Йошкар-Ола: ПГТУ, 2022 Колич.характеристики :82 с.: ил., табл Примечания : Библиогр.: с. 59 (3 назв.) ISBN, Цена 978-5-8158-2314-3: 140.50, 140.50, р. ГРНТИ : 45.01 УДК : 621.382(076) ББК : 32.84я73 Предметные рубрики: Электротехника-- Тонкие оптические пленки Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): приборостроение--информационно-измерительные приборы--тонкие пленки металлов (изготовление)--пленки оксида титана--пленки нитрида титана--оптические прорачные пленки нитрида аллюминия--пленки меди с низким значением поверхностного сопротивления--методы реактивного магнетронного распыления--методы резистивного термического испарения в вакууме--11.04.04--12.03.01--11.03.03--12.03.04--11.04.01--27.03.04--лабораторные практикумы--лабораторные работы Экземпляры : всего : чз№2(5) Свободны : чз№2(5) |