Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Полные тексты изданий ПГТУ- результаты поиска

Вид поиска
Книги
Статьи
Полные тексты изданий ПГТУ
Периодика
Авторефераты и диссертации
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=технология очистки подложек<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   621.38
   Ф 53

    Филимонов, Виталий Евгеньевич .
    Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / В. Е. Филимонов, Н. И. Сушенцов. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2011. - 160 с. - ISBN 978-5-8158-0867-6 : Б. ц.
ГРНТИ
29.35.43
УДК
621.382(075.8)

Рубрики: МарГТУ_издания

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- наноэлектроника -- зондовые микроскопы -- вакуумная техника -- технология очистки подложек
Перейти к внешнему ресурсу Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники.

Доп.точки доступа:
Сушенцов, Николай Иванович


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика
за 02.06.2024
Число запросов 49333
Число посетителей 1304
Число заказов 0
© 2006-2022 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».