Ш 76 Шнаревич, Е. И. Диэлектрики интегральных схем [Текст] : научное издание / Е. И. Шнаревич, О. А. Рыбинский, В. А. Злобин. - Москва : Энергия, 1975. - 120 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 5). - Библиогр.: с. 111-118 (146 назв.). - 0.35 р.
Рубрики: Электроника--Радиоэлектронные схемы Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ Аннотация: Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах. Доп.точки доступа: Рыбинский, О. А. Злобин, В. А. Экземпляры всего: 2 аб (1), кнхр (1) Свободны: аб (1), кнхр (1) |