621.382
   Б 90


    Бубенников, Александр Николаевич.
    Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем [Текст] : Учеб.пособие для студ.вузов по спец."Физика и технология материалов и компонентов электронной техники" / Бубенников, Александр Николаевич. - М. : Высшая школа, 1989. - 319 c. - 1.00 р.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
гриф государственного комитета
Экземпляры всего: 52
чз№2 (2), кнхр (1), абунл (49)
Свободны: чз№2 (2), кнхр (1), абунл (49)