3846 Игумнов, Владимир Николаевич. Влияние тепловой и электроискровой обработки на структуру и свойства толстых рутенийсодержащих слоев [Текст] : автореф. дис. на соискание учен. степени канд. техн. наук : специальность 01.04.0 "Физика твердого тела" / АН СССР, Урал. отд-ние, Физ.-техн. ин-т ; [науч. рук. В. А. Усков]. - Ижевск : [б. и.], 1989. - 23 с. - Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): Авторефераты диссертаций -- ПОЛУПРОВОДНИКОВая электроника -- ЭЛЕКТРОНИКА полупроводниковая -- СЛОИ рутенийсодержащие толстые -- ТОЛСТЫе рутенийсодержащие слои -- ОБРАБОТКА тепловая -- ТЕПЛОВАЯ обработка -- ОБРАБОТКа электроискровая -- ЭЛЕКТРОИСКРОВАЯ обработка Экземпляры всего: 1 нчз (1) Свободны: нчз (1) |